三維表面檢測儀采用有限元分析技術設計，具有高精度、高性能高速度和高穩定性的特點。使用冷光源系統，可避免容易變形的工件在測量是因為熱變形所產生的誤差，并避免了由于碰觸引起的變形。檢測儀可高效地檢測各種復雜精密零部件的輪廓和表面形狀尺寸、角度及位置，全自動地進行微觀檢測與質量控制；還可自動抓邊、自動聚焦的功能使得大程度減少了人為誤差。

　　三維表面檢測儀高速掃描時由于加速度而引起的動態誤差很大，不可忽略，必須加以補償。在掃描過程中出現測頭總是沿著曲面表面運動，即使速度的大小不變亦存在著運動方向的改變，因而總存在加速度及慣性力，使得檢測儀發生變形，測頭也在變負荷下工作，由此而導致測量的誤差，掃描速度越高影響越大，甚至成為掃描測量誤差的主要來源。

　　減小高速掃描時的動態誤差的辦法如下：

　　1.改進檢測儀的結構剛性，但不要過多增加結構質量以免增加運動慣性力。

　　2.改進控制系統剛性及跟隨性，保證高速掃描時針尖不會離開零件表面。

　　3.檢測儀的掃描測頭結構本應能適用于高速掃描。好的辦法是量化動態誤差并進行掃描動態誤差補償。